이미지 확대보기경기도는 20일 평택 오성 외국인투자지역에서 엑셀리스 테크놀로지스(Axcelis Technologies)의 신규 제조시설 착공식을 열었다고 밝혔다. 엑셀리스는 이곳에 약 575억 원을 투입해 2028년 상반기 완공을 목표로 아시아 생산·공급·기술지원 거점을 조성한다.
이번 사업은 기존 평택 아시아 운영센터(AAOC)를 확장·이전하는 증액 투자다. 2만2,326.5㎡ 부지에 연면적 약 1만8,800㎡ 규모로 시설을 마련하며, 반도체 이온주입 장비 생산용 클린룸과 아시아·유럽 지역에 부품을 공급할 허브창고, 고객 교육시설을 함께 구축한다.
생산 체계에도 변화가 생긴다. 엑셀리스는 미국에서 제조하던 장비와 제품 일부를 한국으로 이전해 아시아 수출 물량 가운데 국내 생산 비중을 높일 계획이다. 생산뿐 아니라 고객사 교육과 기술지원 기능까지 한곳에 갖춰 해외 고객 대응력을 강화한다는 방침이다.
평택이 최종 투자지로 결정되기까지 경기도의 유치 활동도 이어졌다. 엑셀리스는 한국과 싱가포르, 말레이시아를 후보지로 검토했으며, 경기도는 미국 본사 임원 면담과 부지 발굴, 인허가 협의를 지원했다. 회사는 올해 9월 평택 오성 외국인투자지역 입주계약을 맺고 시설 조성 절차에 들어갔다.
국내 산업과의 연계 기반도 마련돼 있다. 엑셀리스코리아는 2022년 국내 제조를 시작한 이후 중소기업 35개사와 협력관계를 형성했다. 경기도는 이번 투자가 지역 반도체 소재·부품·장비 기업의 참여 기회를 넓히고 핵심 장비의 안정적인 공급에도 보탬이 될 것으로 보고 있다.
추미애 경기도지사는 이번 착공을 엑셀리스가 평택에서 사업을 확대하는 출발점으로 평가하며, 기업이 안정적으로 투자하고 사업을 이어갈 수 있는 여건을 마련해 세계 반도체 산업에서 경기도의 역할을 키우겠다는 뜻을 밝혔다.
러셀 로우 엑셀리스 사장 겸 최고경영자(CEO)는 한국의 제조 역량과 회사의 기술력을 결합하는 데 이번 투자의 의미가 있다고 설명했다. 국내 고객사와 협력업체와의 파트너십을 토대로 인공지능(AI) 시대의 반도체 혁신을 지원하고 산업 전반의 성장 기회를 넓히겠다고 전했다.
엑셀리스는 미국 매사추세츠주에 본사를 둔 이온주입 장비 전문기업이다. ‘퓨리온(Purion)’ 제품군은 반도체의 전기적 특성을 제어하는 이온주입 공정에 활용되며, 전기차와 산업용 전력기기에 쓰이는 실리콘카바이드(SiC) 전력반도체 분야에도 관련 기술을 보유하고 있다.
차영환 로이슈 기자 cccdh7689@naver.com
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