[로이슈 심준보 기자] 반도체 소재 기업 아이브이웍스가 전력반도체 원천 소재인 '질화갈륨(GaN) 단결정 웨이퍼 제조기술'로 녹색기술 인증을 취득했다고 13일 밝혔다.

녹색 인증은 '탄소중립기본법'에 의거해 유망한 녹색기술을 인증하고 지원하는 제도로 산업자원부, 중소벤처기업부 등 8개 부처가 전담해 평가한다. 이번에 인증받은 기술은 질화갈륨 전력반도체 응용제품의 원천 소재인 '질화갈륨 단결정 웨이퍼'를 제조하는 기술이다.

아이브이웍스에 따르면 이 기술은 HVPE 방식과 In-situ separation 공정을 통해 웨이퍼 수율 향상과 대구경화가 가능하다. 이를 기반으로 한 수직 구조 전력반도체용 GaN on GaN 에피웨이퍼는 EV 인버터, AI 데이터센터 전원공급기, 신재생 에너지 전력변환 등 1kV급 고전압 전력반도체에 적용된다.

아이브이웍스 관계자는 "전기차와 모바일 통신 확산으로 전기 에너지 수요가 빠르게 증가하면서 전력 반도체에 대한 기술적 요구도 높아지고 있다"며 "전기 에너지의 고효율화를 위해 높은 전력 밀도와 효율을 구현하는 GaN 반도체 소재 기술을 확보함으로써, 에너지 소비를 최소화하고 사회적 문제 해결에 기여하겠다"고 말했다.

심준보 로이슈(lawissue) 기자 sjb@rawissue.co.kr