[로이슈 편도욱 기자]

㈜젬백스앤카엘(082270, 이하 젬백스)가 가 세계 파운드리(반도체 위탁생산) 시장점유율 절반 이상을 차지하는 최대 업체 TSMC에 시제품 평가 진행을 위한 케미컬 에어 필터(CA Filter)를 공급했다고 밝혔다.
젬백스의 해당 제품은 TSMC가 신규로 설치할 일본 TEL(Tokyo Electronic Ltd.) 사의 EUV(Extreme Ultra Violet) spinner 용 최신 장비에 적용되어 테스트를 진행할 예정이며, 해당 테스트가 성공적으로 마무리된다면 TSMC의 최신 3나노 Fab 공정에 새롭게 투입되게 된다. 여기서 EUV(Extreme Ultra Violet)는 반도체를 만드는 데 있어 중요한 과정인 포토공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 리소그래피(lithography) 기술 또는 이를 활용한 제조공정으로 차세대 반도체 칩 제조 공정의 핵심기술을 말한다.

젬백스 관계자는 "대만 산업 기술 연구기관과 같은 공신력 있는 평가 기관의 검증 결과를 바탕으로 금번 테스트의 단독 평가 대상으로 선정되어 진행하는 만큼, 당사 필터의 기술력은 이미 인정받았다고 볼 수 있다"라며 자신감을 보였다.

편도욱 로이슈 기자 toy1000@hanmail.net